5+1미래전략산업 양자(반도체) 분야 교육 및 연구 인프라 구축을 위한 기자재(진공플라즈마표면처리기) 구입

1) 챔버모듈 - 진공챔버 내부크기 : 100 x 160 x 100mm (WxDxH) - 전극구조 : 축전결합형 (반응성이온식각과 플라즈마식각 모드 모두 지원하는 평행한 2중 전극) - 전극간거리 : 60mm - 관람창 : 80mm - 플라즈마 진단 모듈의 호환가능의 챔버디자인 2) 파워제너레이터 모듈 - 플라즈마 전원공급기 주파수 : 50kHz - 출력 : 최대 100W - 플라즈마 이온밀도 : 1.5 x 1012 ~ 2.5 x 1012 (@50W ~ 200W) - 압력제어장치 : ≤Base Pressure 5.0 x 10-2 Torr (≤ 5min) - SiO₂ Etching Rate : ≥ 100nm/min - PR Etching Rate : ≥1㎛/min 3) 가스모듈 - 최대 가스공급라인 : 2 x 채널 - 선택 가스종류 : 산소, 아르곤, 질소 - 가스공급조절 : Mass Flow Controller - 유량조절 : 최대 100sccm - 퍼지라인과 벤트라인 : 각각 1채널 가지며 외부에서 Speed Controller 연결가능 4) 진공모듈 - Vacuum Gauge : Atm ~ 1.0 x 10-4 Torr - 진공펌프 펌핑 용량 : 105 L/min @50/60Hz - 진공펌프 최저도달압력 : 1.5 x 10-3 Torr 5) 컨트롤 모듈 - 컨트롤러 : 5인치 터치스크린 - 호환되는 진공펌프 터치스크린에서 전원제어 - 모든 공정요소 조정 및 실시간 비상감지 및 안내 - 실시간 온도 감지 기반 자동 인터락 보호 기능을 갖춘 파워 제너레이터 - 매뉴얼모드