산업기술국제협력(R&D), 글로벌기업산업기술연계R&D, 바커케미칼코리아 엘립소미터 구매의 건

규격가격동시입찰-제안적격자 중 예가 내 최저가 투찰자

1. 측정 방식: 회전 보상자(Rotating Compensator)와 회전 검광자를 함께 사용하여 Ψ(0~90°)와 Δ(0~360°) 전 범위 측정 2. 검출 방식: CCD 어레이로 400~1000nm 구간 190개 이상 파장 동시 측정, 풀 스펙트럼 측정 5초 이내 3. 입사각: 65°, 70°, 75° 및 90°(Straight-through) 측정 가능 4. 측정 항목: Ψ, Δ 외 Depolarization 및 Mueller Matrix 11개 요소 이상 측정 5. 정확도: Straight-through 기준 Ψ=45°±0.1°, Δ=0°±0.2°, 반복정밀도 0.01nm 이하(SiO2 2nm 박막 기준) 6. 자동화: 샘플 높이(Z축) 자동 정렬 7. 분석 기능: 다층막 분석, B-Spline 및 General Oscillator 등 분석 모델 제공 8. 설치 공간: 본체 설치 면적 약 48cm × 33cm 이하 9. 기타 조건: 제조사 공급확약서 제출, 국내 공급사의 설치·교육 및 기술지원(국내 기술지원 인력 보유), 동일 계열 장비 국내 납품 실적